SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE
彈性密封
系列有效截面積mm2 （Cv）消耗功率 （W）
50-VFE3000 5通18 （1.0）3.5
50-VFE5000 45 （2.5）
50-VPE500 3通41.4 （2.3）
50-VPE700 72 （4）
特長
SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE防爆規(guī)格
符合標準（IEC標準）。
防水性：符合JISF8001第3種散水試驗。
無需考慮先導閥排氣設備。
（主閥、先導閥共同排氣型［50-VFE3000］）
可以集裝化（50-VEF）
可作為選擇閥、分流閥使用，也可用于真空環(huán)境。 （50-VPE）
問囊括的r t y u
XLA 16 M9N一個
M9N（L）（M）（Z）
M9P（L）（M）（Z）
M9B（L）（M）（Z）
前（L）
A93（L）
汽車開關模型
D-M9N（L）（M）（Z）
D-M9P（L）（M）（Z）
D-M9B（L）（M）（Z）
D-A90（L）
D-A93（L）
沒有汽車開關（沒有內(nèi)建的磁鐵）
固態(tài)自動開關
沒有汽車開關（帶內(nèi)置磁鐵）
里德汽車開關（并不適用
法蘭尺寸16）
汽車開關類型t
西北）滴定（
凱西（DN）
適用法蘭
16日、25名、40名,50歲,63歲,80
63,80
w法蘭連接式
高真空角閥
正常關閉/波紋管密封
問法蘭尺寸
y數(shù)量的汽車開關/安裝的位置
沒有汽車開關
安裝的位置
閥門開啟和關閉
開啟閥門
閥門處于關閉狀態(tài)
r溫度規(guī)格/加熱器
溫度
5到60°C
5到150°C
加熱器
用100°C加熱器
加熱器和120°C
你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分
與 8226;密封材料
密封材料
FKM
三元乙丙橡膠（EPDM）
面額8727;產(chǎn)生了三菱電纜行業(yè),垂詢。
面額8226;身體表面處理
表面處理
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化
桶Perfluoro& # 174;是一個注冊商標的Matsumura石油有限公司。
Kalrez&;是一個注冊商標的杜邦公司績效彈性體。
Chemraz&;是一個注冊商標的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。
ARMOR& ULTIC;注冊商標是日本Valqua行業(yè),有限公司。
注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標/飛行員港口方向
汽車開關并非是適用于高溫規(guī)格
（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標準導聯(lián)線長度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時,“m”時,可達1米
“Z”當5米。
例）-M9NL
與# 8226;密封材料改變部分和泄漏
泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）
訂購的是別的東西,而不是“零”（標準）,列表的符號開始
以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例）XLA-16-M9NA-XAN1A
注1）值在常溫下,不含氣體滲透。
注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。
部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進行相應的調(diào)整。
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| | 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | XLA  | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 16～80 | XLAV
（帶電磁閥） | | XLC | 雙作用 | XLCV
（帶電磁閥） | | XLF | O形圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金 | 16～160 | XLFV
（帶電磁閥） | | XLG | 雙作用 | 16～80 | XLGV
（帶電磁閥） | | XLD | 波紋管?
O形圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 25～80 | XLDV
（帶電磁閥） | | XLH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 16～50 | | XLS | 電磁式 | 波紋管壓力平衡 | 單作用
（N.C.） | 16, 25 | | 特長 | | |
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| | 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | | XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁
波紋管：
SUS316L | 16～50 | | XLDQ | 波紋管密封
O形圈密封 | 40,50 | | 特長 | | |
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注）對直通型無尺寸16的閥。 | 系列/CAD
（L型/直通型） | 動作方式 | 軸密封方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | | XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
SCS13
（相當SUS304）
波紋管：
SUS316L | 16～80注） | | XMC/XYC | 雙作用 | | XMD/XYD | 波紋管
O型圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
SCS13
（相當SUS304）
波紋管：
SUS316L | 25～80 | | XMH/XYH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體：
SCS13
（相當SUS304）
波紋管：
SUS316L | 16～50注） | | 特長 | - 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。
- 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 （XM系列）
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| | 系列 | 磁性開關種類 | 內(nèi)容 | | D Series | 有觸點的磁性開關 | 一般 （通用型） | | 無觸點的磁性開關 | 一般 （通用型） | |
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| | 系列/CAD | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 | | XVD | 常斷
（加壓通/彈簧密封） | 氮氣、空氣、惰性氣體等 | VCR®
Swagelok® | 1/4B | | 特長 | - 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
- （閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調(diào)整。
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| | 系列/CAD | 使用壓力范圍 （Pa） | 使用流體 | 門尺寸
（高×寬） （mm） | 動作壓力
（MPa） | | XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體系的真空 | 32×222
46×236
50×336 | 0.45～0.6 | | 特長 | - 對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
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| | 系列/CAD | 使用環(huán)境壓力｛Pa （ABS）｝ | 缸徑 （mm） | | CYV | 大氣～1.3×10-4 | 15,32 | | 特長 | - 真空環(huán)境內(nèi) （1.3×10-4Pa） 在搬運場合可以使用的氣缸。
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